Vorwort	6
	Inhaltsverzeichnis	8
	1 Was ist ein Mikrosystem?	10
	1.1 Stand der Technik	10
	1.2 Übungsaufgabe: Leistung eines Mikrosystems	12
	1.3 Übungsaufgabe: Zuverlässigkeit von Makro- und Mikrosystem	14
	1.4 Übungsaufgabe: Atom-Assembler	16
	2 Mikroskopie für Atome	18
	2.1 Stand der Technik	18
	2.2 Übungsaufgabe: Tunnelmikroskop	21
	3 Kräfte in der Mikrowelt	26
	3.1 Stand der Technik	26
	3.2 Übungsaufgabe: Kräfte in der Mikrowelt I	27
	3.3 Übungsaufgabe: Kräfte in der Mikrowelt II	30
	3.4 Übungsaufgabe: Van-der-Waals-Kraft	32
	3.5 Übungsaufgabe: Einfluss der Abmessungen auf die Resonanzfrequenz eines Federpendels	34
	4 Simulation von Mikrosystemen	37
	4.1 Stand der Technik	37
	4.2 Das Programm Electronics Workbench	38
	4.3 Das Programm PSPICE	38
	4.4 Beispiel für den Einsatz von PSPICE	39
	5 Der Widerstand in Mikrosystemen	43
	5.1 Stand der Technik	43
	5.2 Übungsaufgabe: Impedanz verschiedener Widerstände	45
	6 Kopplung zwischen elektrischen und thermischen Größen in einem Mikrosystem	49
	6.1 Stand der Technik	49
	6.2 Übungsaufgabe: Bestimmen des Wärmewiderstandes und der Wärmekapazität eines Widerstandes	61
	6.3 Übungsaufgabe: PSPICE-Modell für zwei elektrisch parallel geschaltete Widerstände	62
	6.4 Übungsaufgabe: Temperaturabhängiger Widerstand in PSPICE	66
	7 Hybridtechnologie	71
	7.1 Stand der Technik	71
	7.2 Übungsaufgabe: Dimensionierung von gedruckten Widerständen und Kapazitäten	74
	7.3 Übungsaufgabe: Toleranz gedruckter Dickschichthybridwiderstände	77
	7.4 Übungsaufgabe: Abgleich eines Dickschichthybridwiderstandes mit Electronics Workbench	81
	7.5 Übungsaufgabe: Abgleich eines Dickschichthybridwiderstandes	84
	8 Oberflächenmontage von Bauelementen / SMD-Technik	87
	8.1 Stand der Technik	87
	8.2 Übungsaufgabe: Impedanz verschiedener Widerstände	92
	8.3 Übungsaufgabe: HF-Spannungsteiler	99
	8.4 Übungsaufgabe: Simulation des SMD-Reflowlötens mit PSPICE	101
	9 Mikromechanik	105
	9.1 Stand der Technik	105
	9.2 Übungsaufgabe: Ätzen von Silizium	124
	9.3 Übungsaufgabe: Piezoresistiver Effekt im Draht	126
	9.4 Übungsaufgabe: Piezoresistiver Siliziumwiderstand	128
	9.5 Übungsaufgabe: Piezoresistiver Widerstand in PSPICE	131
	9.6 Übungsaufgabe: Sensor in Brückenschaltung	134
	9.7 Übungsaufgabe: Bewegte Masse mit Reibung	139
	9.8 Übungsaufgabe: Mikromechanischer Beschleunigungssensor groß.	141
	10 Integrierte Optik	148
	10.1 Stand der Technik	148
	10.2 Übungsaufgabe: Lichtwellenleiter (Strahlenmodell)	162
	10.3 Übungsaufgabe: Simulation eines integriertoptischen Parallelstreifenkopplers mit PSPICE	163
	Anhang	168
	Literaturverzeichnis	170
	Sachwortverzeichnis	172
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