Die Mikrosystemtechnik fasst die bekannten Methoden für die Verkleinerung technischer Geräte zu komplexen Systemen zusammen. Sie erweitert die Möglichkeiten der Mikroelektronik um nichtelektrische Funktionen und "lehrt" den integrierten Schaltkreis das Hören, Sehen, Laufen und Greifen.

Das vorliegende Buch für Ingenieur- und Physikstudenten möchte einen Überblick über die Mikrosystemtechnik geben. Der Leser erfährt in einer Einleitung zu jedem Teilgebiet, welche Probleme und Zusammenhänge zu beachten sind. Im Text wird unter anderem auf Kräfte in der Mikrowelt, Sondenmikroskopie, Kopplung von elektrischen und nichtelektrischen Systemen, Hybridtechnologien, SMD-Technik, Mikromechanik und integrierte Optik eingegangen. Zusätzlich werden Übungsaufgaben mit Lösungen angeboten. Der Leser soll verstehen, wie die Berechnung von Schaltungen und Anordnungen mit dem PC erfolgt. Dafür kommen die Standardprogramme PSPICE, Electronics Workbench, EXCEL und MAPLE zum Einsatz.

Der Autor

Prof. Dr.-Ing. Andreas Mohnke hält Vorlesungen an der FH Aachen über Mikrosystemtechnik und elektronische Bauelemente im Fachbereich Elektrotechnik/Automation.